上海微技術工業(yè)研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科學技術委員會、嘉定區(qū)政府和中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所發(fā)起成立，是集研發(fā)、工程、產業(yè)化及培育于一體的研發(fā)與轉化功能型平臺，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供深度工藝技術支持和服務。SITRI在上海聯和投資有限公司服務國家戰(zhàn)略、做科創(chuàng)發(fā)展先行者排頭兵戰(zhàn)略使命的指導下，依托中國科學院上海微系統(tǒng)所“三位一體”創(chuàng)新架構模式建立，通過上海微系統(tǒng)所技術力量的支撐以及上海新微科技集團投資運營模式的支持，與國內外眾多的產、學、研組織建立了緊密的合作關系，實現創(chuàng)新成果的高效率產業(yè)化，加速“超越摩爾”產業(yè)生態(tài)系統(tǒng)建立。



SITRI擁有全國首條8英寸“超越摩爾”（More than Moore）研發(fā)中試線，提供MEMS、硅光、生物芯片等“超越摩爾”核心工藝技術，為設計、裝備和材料等半導體公司提供高效的研發(fā)、中試和驗證服務，實現從研發(fā)到小批量生產無縫對接。


截至目前，SITRI已累計申請專利866項，發(fā)明專利686項，其中PCT（國際專利）專利55項。



SITRI立足上海、面向長三角、輻射全國，已初步形成“超越摩爾”領域的產業(yè)生態(tài)體系。